面印着几个已被尘埃覆盖大半的字迹,还有一幅略显夸张的结构示意图——《仿星器等离子体约束壁面抛光工艺可行性研究》。
一道电光瞬间劈开苏定平脑海里的迷雾!
“是了!仿星器!”
他猛地一拍桌子。
“啪”的一声巨响在安静的实验室里回荡。
“它的核心约束腔体内壁,不也是需要在超真空环境下,做到原子级的绝对光滑和平整度吗?还有那复杂的磁流体形态……离子束对材料表面的刻蚀……”
他像抓住救命稻草,整个人扑到电脑前,手指在键盘上快得带起残影。
大量的仿星器技术细节、离子流密度模型、真空腔壁材料在特定能量粒子轰击下的表面形变数据……以前积累的、与光刻机看似无关的实验数据,此刻如同奔腾的洪水找到了新的河道,疯狂地涌入设计EUV反射镜的超精密抛光方案中!
两天两夜,不眠不休!伴随着浓烈的咖啡烟味和打印机疯狂的嘶鸣,一套截然不同的设计图纸诞生了!
不同于蔡司依赖的传统机械抛光和磁控溅射,它核心是基于超高能离子束在超洁净真空环境中对光学基片表面进行“原子级雕刻”,辅以动态补偿系统,将原先图纸锁死无法突破的0.1nm精度线,狠狠地压到了0.08nm!
图纸最终成型,墨迹未干。
苏定平盯着那最终的核心数据——“面型精度 RMS误差。
≤0.08nm”,一向沉稳的脸上也忍不住露出一丝狂喜的潮红。
他抓起图纸冲到隔壁的抛光实验室,声音沙哑却透着难以抑制的激动。
“老陈!按这个方案!立刻!准备实验!”
陈工接过图纸,只看了几眼,眼珠子就瞪圆了。
“离子束束径控制到0.5微米?能量分级补偿?这思路……绝了!苏总工……这……你从哪想出来的?”
“先人栽树。”
苏定平喘着气,眼中跳跃着灼热的光。
“仿星器的离子束约束技术!基础打得牢实,高点的墙也能翻过去!就按这个干!”
“干了!”
陈工吼了一声,带着团队冲进了改造好的实验间。
几天后,当第一面利用这全新工艺抛光出来的镜片核心基材,在比原子力显微镜更为精密的相位干涉轮廓仪下进行面型扫描时,整个检测间鸦雀无声。
显示屏上,代表着镜面平整度的三维彩色云图呈现惊人的淡蓝色,核心区域的那一抹刺眼的、象征高误差区的赤红色……消失了!
“RMS……0.078nm!”
检测员的声音都在颤抖,带着难以置信的狂喜。
“天哪!我们……做到了!低于0.1nm!甚至低于目标精度!”
成功了!全新的超精密离子束抛光技术,在仿星器前期研究积累的基石上,硬生生凿开了反射镜加工技术的第一道天堑!苏定平看着屏幕上的结果,长长地、长长地吐出了一口压在胸中不知多久的浊气。
他用力揉了一把脸,眼中闪烁着晶莹。
“老祖宗说的没错啊,技多不压身!
这仿星器搞出的一点一滴,都是宝贝!”
但抛光只是第一步,解决了镜面毛坯,上面还需要镀上那关键的十四层纳米级的薄膜阵列!每层的厚度误差,依然死死卡着那令人绝望的0.1nm极限。
“反射层必须不同材料交替沉积……原子层精确控制……层间干扰……”
难题并未消失,但破除了前一个壁垒,苏定平的思路仿佛被打通了奇经八脉。
“既然抛光能借鉴等离子体约束的思路,那这多层沉积……”
他再次扎入浩如烟海的仿星器研究档案中。
几天后,另一个被启发的方案成型了——超高真空原子层沉积技术优化方案。
利用类似仿星器控制磁约束边界层原理,通过精确调控真空腔环境、前驱体脉冲时间、以及复杂的基片温场,在镜坯表面逐层、逐原子地构建那十四层复杂的光学膜系!
新的镀膜方案投入紧张的实验试制。