这块地给我，会给汉东省带来巨大的经济价值及，我不吹牛逼，我就是来送一个国家战略机会。”
“好大的口气！”
沙瑞金接过文件，只扫一眼封面，便坐直了身体：《国产38nm浸没式光刻机核心技术白皮书（初稿）》
申报单位：崇明科技
已申请发明专利：47项
浸没式流体控制系统9项：解决水痕、气泡、温度波动问题
纳米级双工件台运动控制：12项实现±1nm定位精度，含磁悬浮、激光干涉仪反馈
193nm ArF光源稳定性：7项国产准分子激光器脉冲控制、能量均匀性
光学像差实时校正算法：8项软件补偿镜头制造误差。
整机集成与对准系统：11项多模块协同、晶圆-掩模同步。
光学系统：采用非球面反射+多层镀膜技术，数值孔径NA=1.35；
工件台：纳米级定位精度±1.5nm，速度达500mm/S；
控制软件：全自主开发，支持实时误差补偿；
关键突破：绕过ASML核心专利，构建平行技术路径。
47项专利看起来并不多，ASML一台EUV光刻机，涉及超10万项专利，但是，赵崇明的47项基础性、不可绕过的底层核心专利”，这是足以构建自主技术路径，规避ASML专利墙，实现“合法国产化”。
他一页页翻看，手指微微发颤。
“这……是真的？”沙瑞金抬头，眼中震惊难掩：“能打破《瓦森纳协定》封锁？”
“不是能，是已经。”
赵崇明笑吟吟的开口道：“样机正在组装，其中绝大多数的零件，我可以这么说都可以在国内实现生产，当然，一些关键的零件还是需要进口，我的计划是这样的，尽量国产，能不进口就不进口！”
沙瑞金问道：“什么时候能组装起来？”
赵崇明微笑道：“明年一季度可完成工艺验证，一旦成功，中国将首次拥有自主可控的DUV光刻能力。”
他顿了顿，声音加重：“但这只是开始。”
沙
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