扫描，其实都算是步进式光刻机，但两者性能差距不小。
传统的步进重复是“静止曝光”，而步进扫描则是“动态曝光”。
在曝光瞬间，掩模台和硅片台不再保持静止，而是按照精确的缩小比例进行同步反向移动。
照明光线只通过一个狭长的“狭缝”对硅片进行扫描式曝光。
一边设计，沈永健一边在纸张上推导着各类公式，对设计本身进行着验证。
步进扫描的镜头视野覆盖面积会更大。
扫描过程中，光源波动的曝光不均匀局部缺陷，也会尽可能的被“平均”掉。
一连几天，沈永健都将心思花在了新一代光刻机改进上。
别看都是步进式光刻机，但实际的改进难度极大，所有的一整套设备都需要进行更高标准的更新。
“沈委员，按照您的描述，投影物镜这块应该没问题。”
“只是您说的激光传感器…暂时还需要时间，我们所里对激光这个方向还未有过研究…”
话筒里说话的是北春所的申所长。
对于投影物镜这一块的新标准，北春所这些年一直在投入精力研究，也有信心在短时间内满足沈永健的需求。
唯独这激光传感器这块，反而有些困难。
“这样吧，你们所目前掌握的激光技术与论文传一份给我吧，激光干涉仪这块我来想办法。”
步进重复光刻机，掩模基本是静止的。
而新一代的步进扫描，掩模台必须和硅片台同步反向移动，这里头需要改进的可不少。
需加装精密的直线电机与气浮导轨不说，高精度的位置传感器要求也很高。
在现有条件下，利用激光技术研制激光干涉仪，是相对容易实现的方案。
与申所长聊完，预备拨打下一个单位电话之际，却不想外头传来敲门声。
办公室门被打开，李牛先一步汇报。
沈永健立刻收拾起办公桌上的资料，不多时，徐成先与外贸部的柳副部长二人被李牛引入屋内。
“柳部长，成先同志，你们俩一起找我倒是少见…”
“我还以为又是哪个大学的领导呢！”
沈永健一边说着，一边给二人递上才冲泡好的茶水。
柳副部长接过茶杯，简单道了声谢，便直奔主题道。
“永健同志，这次我和成先同志过来，主要是有关稀土贸易。”
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