风呼呼吹过,吹掉身上全部浮尘,这才真正踏入光刻机研发车间。
偌大的恒温恒湿车间灯火通明,空气经过层层过滤,一尘不染。
四周排布着大量配套辅助设备:精密镀膜机、刻蚀配套单元、超高真空腔体、激光光源模块、高精度工件台,各类管线密密麻麻排布。
机柜指示灯忽明忽暗,技术人员穿着同款无尘服,安静地在各个工位上调试参数。
这一座基地大半年前才破土动工,短短时间之内,整套上下游配套就已经搭建完成。
徐光目光扫过四周,心里暗暗吃惊,光是这些外围配套,就要烧掉海量资金,不是普通企业玩得起的。
一路往里走,外围是零部件测试区,镜片检测工位正在对光学镜片做精度校验,巨大的检测仪器屏幕上跳动着密密麻麻的参数。
再穿过一道隔离玻璃,车间最中心,一台体量庞大的整机静静伫立在减震基座之上。
那就是他们此行要看的光刻机样机。
整机体型庞大,光学模组、光源系统、工件承载台层层组合,无数精密管线连接各个模块,整套设备被安置在特殊减震地基上。
隔绝地面微小震动,只要一丝抖动,就足以毁掉光刻精度。
走到玻璃隔离围栏外面,几人停下脚步,隔着防护玻璃看向这台凝聚无数心血的大家伙。
徐光眼神紧紧锁在样机身上,呼吸都放轻了几分。、
之前只听江诚口头说造出样机,心里一直半信半疑,今天亲眼见到实物,心脏不由得砰砰直跳。
他侧过头看向江诚,隔着口罩,声音略微有些闷。
“江总,样机实实在在摆在眼前,我不绕弯子。这台机器,现在可以做到多少纳米?”
江诚双手揣在无尘服口袋里,神色淡淡的,嘴角挂着一点似笑非笑,典型一副纨绔漫不经心的模样。
“你猜。”